等離子廢氣處理設備又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
　　凈化機理
　　等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
　　(1)電場+電子→電子
　　(2)電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
　　(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱
　　(4)活性基團+活性基團→生成物+熱
　　從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
　　凈化原理
　　低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變?yōu)楹唵涡》肿游镔|，或使有物質轉變或的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得。作為環(huán)境污染處理中的一項具有強潛在優(yōu)勢的，等離子體受到了相關學科界的度關注。
　　凈化方法
　　等離子廢氣凈化器采用了的吸附-分解-碳化離心式抽風安裝工藝技術,采用模塊等優(yōu)點,是一種干法處理廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術,無需處理原料,無需專人負責,不產生二次污染,換及維護保養(yǎng)方便。
　　低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業(yè)廢氣處理的一種原理。